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利用SiO和CH4氣體制備碳化硅的反應機理研究

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摘要:碳化硅(SiC)作為工業領域應用廣泛的一種重要非氧化物材料,可以采用甲烷(CH4)氣體,利用氧化硅的碳熱還原工藝來制備。本研究利用反作用力場(ReaxFF)分子動...

日期 2016-04-11   
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